加速器SF6回收抽真空裝置

1，抽真空：

真空預抽僅對針對加速器，預抽真空度小于 10Pa，真空預抽時間應小于8h。

2，充氣：

(1)SF6 充氣后，單個壓力可在 0.4~0.8MPa(表壓)間可調； 

(2)加速器從真空狀態充氣到最高壓力 0.8MPa 的總時間不超過8h 。充氣速率不得過快，如有必要，請在必要位置安裝加熱裝置及溫度計等。

(3)加速器充氣完成后，儲氣罐的 SF6 壓力應高于0.05Mpa（表壓），防止外界氣體泄漏進入儲氣罐； 

(4)充氣過程中，還需對 SF6 氣體進行干燥、除塵等，有效過濾 SF6氣體的固體或液體雜質、油污等，保證進入加速器內 SF6 氣體露點儀檢測露點小于-44℃，過濾器規格可過濾顆粒粒徑小于 1.1um，油 分控制小于 1.2μg/g； 

(5)干燥裝置可再生。此外再生時排出的物質需要通過管道排出室外，需配齊系統與排氣管道之間的連接管； 

3，氣體回收：

(1) 回收完成后，加速器的真空壓力小于 100Pa。 

(2) 從最高工作壓力（0.8Mpa）至回收結束時間不超過10小時。

(3) 回收時，需要對 SF6 氣體進行除塵、干燥，過濾器要求去除 顆粒粒徑小于 1um，水分也需要過濾保證回收到儲氣罐氣體的干燥，以保證氣體純度。 

4，充空氣：

回收完成后，加速器需要放入干凈空氣，使鋼筒內壓力與周圍環境壓力平衡，但仍需嚴格控制流量，充氣口溫度不得低于 2℃。 進氣口需要設置過濾裝置過濾空氣中的顆粒，過濾裝置可過濾顆粒粒 徑小于4um。充氣時，如在距離聲源外 1m 處噪聲超過65dB（A）。

武漢華能聯創電氣有限公司定制SF6儲氣罐，SF6綜合氣站。